LICENSINTORG - Licenz.ru  

Полуавтомат резки полупроводниковых пластин ЭМ-2085А

ЭМ-2085А - предназначен для резки полупроводниковых пластин на кристаллы в спутниках-носителях.
Полуавтомат построен в соответствии с традициями общей мировой практики аналогичного класса установок резки пластин на кристаллы в спутниках-носителях, оснащенных одним высокопрецизионным электрошпинделем.
Полуавтомат обеспечивает автоматическую резку с ручной ориентацией пластины.
Особенностями полуавтомата является использование высокопрецизионных линейных шариковых направляющих, обеспечивающих высокие точности перемещения и легкость ремонта.
Полуавтомат снабжен датчиками обратной связи на приводах X, Y и Z, бесконтактной системой для контроля глубины реза и износа лезвия, расширенной памятью процессора и закрытой зоной обработки.
Управление приводами выполнено на современной элементной базе, обеспечивающей большую надежность, компактность, гибкость и долговечность. Полуавтомат осуществляет диагностику систем управления приводами с выдачей оперативной информации на жидкокристаллический монитор.
При отсутствии заводской вакуумной магистрали, возможно использование вакуумного насоса, входящего в состав полуавтомата.

Технические характеристики

Максимальный диаметр обрабатываемых пластин

200 мм

Максимальная толщина пластин

3 мм

Диапазон подачи стола предметного

от 0,1 до 600 мм/с

Накопленная погрешность шаговых перемещений электрошпинделя по координате Y на длине 210 мм, не более

0.004 мм*

Частота вращения вала электрошпинделя

от 14000 до 60000 мин-1

Выходная мощность на валу электрошпинделя при частоте вращения вала 60000 мин-1

1200 Вт

Очищенная водопроводная вода

от 0.2 до 0.3 МПа

Сеть слива воды с пропускной способностью

0.12 м3/ч

Сжатый воздух 1 класса загрязненности

 

• давление

от 0.5 до 0.6 МПа

• расход

12 м3/ч

Вакуум

от 0.04 до 0.03 МПа**

Электропитание и потребляемая мощность

230 В, 50 Гц

Потребляемая мощность

1.8 кВт

Габаритные размеры, не более

970x950x1400 мм

Масса, не более

500 кг

*- При температуре воздуха в помещении 20-24°С

 

** - При отсутствии заводской вакуумной магистрали, возможно использование вакуумного насоса, входящего в состав полуавтомата

 

По вопросам приобретения оборудования и технологий обращайтесь на фирму «Лицензиннова» (ФГУП «Лицензинторг»):
Тел.: (495) 797 63 60, факс: (495) 958 09 83, е-mail: petrov@licenz.ru


  Карта сайта © korab lab